廠房微振監測系統介紹
系統目的
半導體技術日新月異發展下，對于無塵室內振動或微振動皆直接影響著產品生產良率。在無塵室設立振動監測系統下，可實時監控生產中無塵室監控區域振動狀態。進而提供設備制程人員及廠務人員在實際生產運行中，因振動對于產品良率的表現，找出更適合產品生產的參數。因振動對于廠房結構的影響，更可避免，因長期間的振動對樓板的結構造成抗振能力下降。
可量測外來的微振量測對廠內生產時造成的影響，以實時記錄的方式，可以進行問題的分析及改善。
目前臺(tai)積(ji)電各廠都將此系(xi)統列為標(biao)準建廠配(pei)備，目的在(zai)于此系(xi)統可以(yi)協助提(ti)升產品(pin)良率(lv)，并且避(bi)免(mian)其它振(zhen)動因(yin)素產生，需(xu)要找問題來源(yuan)時無法有(you)記錄可以(yi)分析
監測系統架構
24hr不間斷訊號量測
提供實時時域或頻域波型顯示
地振報告Folder
實績
臺積電各廠
上海中芯SN1
華大集團半導體
微振檢測(ce)系統（附pdf）
